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簡(jiǎn)要描述：PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào)：PECVD-III-500A-D210廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-09-05訪 問 量：514產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 貝意克 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動(dòng)開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。
可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨(dú)1路過鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。
最高溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能，人機(jī)界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設(shè)備重量 | 約600KG |
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