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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
1600℃ 1.5L 高溫箱式爐 MF-1600C-S
1600℃ 3.4L 高溫箱式爐(MF-1600C-I)
1600℃ 12L 高溫箱式爐(MF-1600C-II)
BTF-1200C-S-SL-PECVD滑軌式PECVD
BTF-1200C-SL-PECVD單溫區(qū)滑軌式簡易版PECVD系統(tǒng)
BTF-1200C-II-PECVDCVD系統(tǒng)
雙爐滑軌式簡易版PECVD
前端預(yù)熱滑軌式簡易版PECVD
PECVD PECVD-III-500A-SSSL三獨(dú)立智能型滑軌
前端預(yù)熱PECVD
雙溫區(qū)PECVD(智能型)

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