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PECVD系統(tǒng)

智能型簡(jiǎn)易版回轉(zhuǎn)型

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BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統(tǒng)

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：BTF-1200C-S-PECVD

瀏覽量：4746

微型PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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智能型三溫區(qū)PECVD

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：

瀏覽量：3817

智能型三溫區(qū)PECVD產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)和中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng)

更新時(shí)間：2025-09-04

型號(hào)：

瀏覽量：2151

等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng) 1.爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布 2.可自行根據(jù)不同溫度曲線 3.電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品高性能、免維護(hù)
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BTF-1200C-SSL-PECVD雙爐PECVD

更新時(shí)間：2025-09-04

型號(hào)：BTF-1200C-SSL-PECVD

瀏覽量：2116

雙爐PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)（進(jìn)口流量計(jì)），真空機(jī)組（進(jìn)口真空泵），PE射頻電源（進(jìn)口射頻源），溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時(shí)擴(kuò)大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。
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PECVD-III-500A-D210智能型PECVD系統(tǒng)

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：PECVD-III-500A-D210

瀏覽量：519

PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。
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BTF-1200C-R-PECVD臺(tái)面式等離子體增強(qiáng)真空回轉(zhuǎn)爐

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：574

臺(tái)面式等離子體增強(qiáng)真空回轉(zhuǎn)爐BTF-1200C-R-PECVD，該設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)PECVD系統(tǒng)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對(duì)均勻等效，有效的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉料的燒結(jié)更均勻。
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PECVD-500A-D智能型PECVD系統(tǒng)（含壓力控制系統(tǒng)）

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：PECVD-500A-D

瀏覽量：2378

智能PECVD設(shè)備是目前最新型的一款設(shè)備，將所有的控制部分集為一體，此款設(shè)備是我司于2013年研發(fā)成功的，可配備PE射頻電源，將CVD系統(tǒng)升級(jí)為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體，可使反應(yīng)更加充分。同時(shí)等離子體起增強(qiáng)的作用，從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗(yàn)的工藝條件。
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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

更新時(shí)間：2025-09-05

型號(hào)：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：2355

等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) 主要特點(diǎn) 我司研制的回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
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